我司在承接到烟台该硅片厂净化车间工程现已顺利完工。烟台该硅片厂生产4~6in硅晶片，年产量为480万片。硅晶片用于分立器件、功率元件和特种集成电路的制作。生产工序环境控制要求见表6-16。

   硅晶片是由硅材料加工而成的一-片片像镜子一样光亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。硅晶片生产包括硅单晶棒生产和硅晶片生产两大部分，主要工序为:单晶棒生长- +单晶棒裁切和检测-→外径磨削-→切片- +倒角(圆边) - +研磨/研磨片检查→蚀刻(化学蚀刻、PC-CVD、AP-CVD等工艺) - +PTA 热处理-背面损伤处理→抛光(ML粗抛、ML精抛)-→洗净→品质检查-→净化包装。